குறைக்கடத்தித் தொழிலில் சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைட்டின் முக்கிய பங்கு: அடுத்த தலைமுறை சிப் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை ஊக்குவித்தல்.

5G, செயற்கை நுண்ணறிவு (AI) மற்றும் இணையம் (IoT) ஆகியவற்றின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி துறையில் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கான தேவை வியத்தகு முறையில் அதிகரித்துள்ளது.சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு (ZrCl₄), ஒரு முக்கியமான குறைக்கடத்தி பொருளாக, உயர்-கே படலங்களைத் தயாரிப்பதில் அதன் முக்கிய பங்கு காரணமாக மேம்பட்ட செயல்முறை சில்லுகளுக்கு (3nm/2nm போன்றவை) ஒரு தவிர்க்க முடியாத மூலப்பொருளாக மாறியுள்ளது.

சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு மற்றும் உயர்-கே படலங்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், உயர்-k படலங்கள் சிப் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான முக்கிய பொருட்களில் ஒன்றாகும். பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான கேட் மின்கடத்தாப் பொருட்களின் (SiO₂ போன்றவை) தொடர்ச்சியான சுருங்குதல் செயல்முறையில், அவற்றின் தடிமன் இயற்பியல் வரம்பை நெருங்குகிறது, இதன் விளைவாக கசிவு அதிகரிக்கிறது மற்றும் மின் நுகர்வு குறிப்பிடத்தக்க அளவில் அதிகரிக்கிறது. உயர்-k பொருட்கள் (சிர்கோனியம் ஆக்சைடு, ஹாஃப்னியம் ஆக்சைடு போன்றவை) மின்கடத்தா அடுக்கின் இயற்பியல் தடிமனை திறம்பட அதிகரிக்கலாம், சுரங்கப்பாதை விளைவைக் குறைக்கலாம், இதனால் மின்னணு சாதனங்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.

உயர்-கே படலங்களைத் தயாரிப்பதற்கு சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு ஒரு முக்கியமான முன்னோடியாகும். வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) அல்லது அணு அடுக்கு படிவு (ALD) போன்ற செயல்முறைகள் மூலம் சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடை உயர்-தூய்மை சிர்கோனியம் ஆக்சைடு படலங்களாக மாற்றலாம். இந்தப் படலங்கள் சிறந்த மின்கடத்தா பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் சில்லுகளின் செயல்திறன் மற்றும் ஆற்றல் திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம். எடுத்துக்காட்டாக, TSMC அதன் 2nm செயல்பாட்டில் பல்வேறு புதிய பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறை மேம்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்தியது, இதில் உயர் மின்கடத்தா மாறிலி படலங்களின் பயன்பாடு அடங்கும், இது டிரான்சிஸ்டர் அடர்த்தியில் அதிகரிப்பு மற்றும் மின் நுகர்வு குறைப்பை அடைந்தது.

ZrCl4-தூள்
மின்னணுவியல் & துல்லிய உற்பத்தி

உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலி இயக்கவியல்

உலகளாவிய குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலியில், வழங்கல் மற்றும் உற்பத்தி முறைசிர்க்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடுதொழில்துறையின் வளர்ச்சிக்கு மிக முக்கியமானவை. தற்போது, ​​சீனா, அமெரிக்கா மற்றும் ஜப்பான் போன்ற நாடுகள் மற்றும் பிராந்தியங்கள் சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு மற்றும் தொடர்புடைய உயர் மின்கடத்தா மாறிலி பொருட்களின் உற்பத்தியில் முக்கிய இடத்தைப் பிடித்துள்ளன.

தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள் மற்றும் எதிர்கால வாய்ப்புகள்

குறைக்கடத்தித் தொழிலில் சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைட்டின் பயன்பாட்டை ஊக்குவிப்பதில் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள் முக்கிய காரணிகளாகும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், அணு அடுக்கு படிவு (ALD) செயல்முறையின் உகப்பாக்கம் ஒரு ஆராய்ச்சி மையமாக மாறியுள்ளது. ALD செயல்முறை நானோ அளவிலான படத்தின் தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும், இதன் மூலம் உயர் மின்கடத்தா மாறிலி படலங்களின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, பீக்கிங் பல்கலைக்கழகத்தின் லியு லீயின் ஆராய்ச்சி குழு ஈரமான வேதியியல் முறை மூலம் உயர் மின்கடத்தா மாறிலி உருவமற்ற படலத்தைத் தயாரித்து இரு பரிமாண குறைக்கடத்தி மின்னணு சாதனங்களில் வெற்றிகரமாகப் பயன்படுத்தியது.

கூடுதலாக, குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் தொடர்ந்து சிறிய அளவுகளுக்கு முன்னேறி வருவதால், சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைட்டின் பயன்பாட்டு நோக்கமும் விரிவடைந்து வருகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, TSMC 2025 ஆம் ஆண்டின் இரண்டாம் பாதியில் 2nm தொழில்நுட்பத்தின் பெருமளவிலான உற்பத்தியை அடைய திட்டமிட்டுள்ளது, மேலும் சாம்சங் அதன் 2nm செயல்முறையின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டையும் தீவிரமாக ஊக்குவித்து வருகிறது. இந்த மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் உணர்தல் உயர்-மின்கடத்தா மாறிலி படங்களின் ஆதரவிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது, மேலும் ஒரு முக்கிய மூலப்பொருளாக சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு சுயமாக முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது.

சுருக்கமாக, குறைக்கடத்தித் துறையில் சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைட்டின் முக்கிய பங்கு அதிகரித்து வருகிறது. 5G, AI மற்றும் இன்டர்நெட் ஆஃப் திங்ஸ் ஆகியவற்றின் பிரபலமடைதலுடன், உயர் செயல்திறன் கொண்ட சில்லுகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது. உயர் மின்கடத்தா மாறிலி படங்களின் முக்கிய முன்னோடியாக சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைடு, அடுத்த தலைமுறை சிப் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கை வகிக்கும். எதிர்காலத்தில், தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம் மற்றும் உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலியின் உகப்பாக்கத்துடன், சிர்கோனியம் டெட்ராகுளோரைட்டின் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள் பரந்ததாக இருக்கும்.


இடுகை நேரம்: ஏப்ரல்-14-2025